CNR - ISMN
Laboratorio di micro e nanofabbricazione

Articoli

Le principali attività svolte presso il laboratorio di micro e nanofabbricazione sono:

  • Processing di materiali (multi)funzionali con tecniche convenzionali e non convenzionali.s
  • Progettazione e sviluppo di dispositivi elettrici e ottici micro e nanostrutturati.
  • Funzionalizzazione e caratterizzazione di superfici.
  • Studio dei fenomeni di confinamento spaziale sulle proprietà dei materiali auto-organizzanti.

Presso questo laboratorio sono presenti le seguenti strumentazioni:

Microscopio a forza atomica (AFM) Bruker Multimode 8. Questo microscopio può operare in aria, in atmosfera controllata e in liquido ed è dedicato alla caratterizzazione morfologica, elettrica e meccanica di materiali organici, inorganici e biologici.

Microscopio ottico (UV/Vis) Nikon Eclipse 80i equipaggiato con il modulo per l’acquisizione di immagini a fluorescenza e interfacciato con videocamera digitale. Questo microscopio ottico opera sia in modalità di luce trasmessa sia in modalità di epi-illuminazione e può acquisire immagini ottiche in campo chiaro, in campo scuro e con luce polarizzata. L’integrazione con uno stage a controllo di temperatura (Linkam THMS600) permette di analizzare i campioni in atmosfera controllata e a temperatura variabile (-196° - 600 °C)

 

Potenziostato/Galvanostato µ Autolab Type III/FRA2 Metrohm equipaggiato con il modulo per eseguire spettroscopia di impedenza (EIS) nel range 10 µHz - 500 kHz. Questa strumentazione è dedicata alla caratterizzazione elettrochimica di materiali e interfacce.


Mask aligner MJB4 SUSS MicroTec dedicato alla fabbricazione di micro e sub-micro strutture mediante fotolitografia. Al fine di migliorare la qualità del processo di fabbricazione, questa strumentazione è situata all’interno di una camera bianca.

Spin coater Laurell ws-650-6NNP/Lite dedicato alla preparazione di film sottili e ultra-sottili di materiali solubili e fotoresist.

Plasma cleaner PELCO easiGlow dedicato alla pulizia delle superfici.

Sistema di deposizione di metalli mediante sputtering Q150R - Rotary Pumped Coater dedicato alla deposizione di film di oro.

Responsible: Dr. Denis Gentili (Questo indirizzo email è protetto dagli spambots. E' necessario abilitare JavaScript per vederlo.)

Location: CNR-ISMN Bologna

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